電容式壓力傳感器是以硅材料為基礎，采用電容原理，即利用電容極間距變化將壓力轉換為電容變化，由MEMS工藝制作的傳感器。菲格瑞思多功能變送器

硅電容壓力傳感器特性如下：

穩定性好

　　硅電容壓力傳感器是一種結構型傳感器，稱重傳感器就檢測原理而言，其穩定性優于物性型傳感器，從結構設計角度保證了該類傳感器的穩定性；結構工藝采用全硬封固態工藝，硅-玻璃-金屬導壓管采用靜電封接，減少了用膠封等引起的應力、滯遲和變差；電容對溫度不靈敏，溫度附加誤差小，不需象硅壓阻器件那樣進行復雜的溫度補償。穩定性好是硅電容傳感器深受用戶好感的主要原因之一。

適合批量生產，成本低

　　硅電容壓力傳感器利用MEMS工藝制作，芯片尺寸為3mm×3mm，一個4寸硅片可制作幾百個元件。產品的工藝性好，性能一致，適合批量生產，低成本運行。其制備工藝與IC工藝兼容，工藝裝備無須象硅諧振傳感器的工藝裝備那樣昂貴和復雜，也無須象金屬膜片電容傳感器那樣單件制作，保證了硅電容傳感器具有高的性能價格比。

　　電容傳感器本身具有小功率、高阻抗、靜電引力小、可動質量小、發熱影響小的特點，并可進行非接觸測量。硅電容傳感器綜合性能指標如非線性、過載、靜壓、可靠性等性能優于硅壓阻傳感器、陶瓷電容傳感器、金屬膜片電容傳感器。它與硅諧振傳感器相當，特別是用戶追求的非線性指標，通常硅電容傳感器的非線性優于0.05％FS的成品率大于60％。

　　主要問題

　　因其檢測原理是采用電容極間距變化，而這種極間距變化本身是非線性的，為了改善非線性，開發出較為復雜的芯體結構，如接觸式、變面積與變極距相串聯等結構。位移傳感器另一個問題是要解決微弱電容信號的檢測問題。

壓力傳感器是能感受壓力信號，并能按照一定的規律將壓力信號轉換成可用的輸出的電信號的器件或裝置。通常由壓力敏感元件和信號處理單元組成。是工業實踐中為常用的一種傳感器，其廣泛應用于各種工業自控環境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業。

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賀德克傳感器常用型號：

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賀德克傳感器HDA4445-A-250-000

賀德克傳感器HDA4745-A-400-000

賀德克蓄能器SB330-50 2106252

賀德克傳感器ENS3218-5-0520-000-K

賀德克傳感器EDS346-3-400-000+ZEB01+ZBM300

賀德克插頭ZBE06-02

賀德克傳感器EDS3448-5-0016-000-F1

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賀德克傳感器EDS346-2-250-000+ZBE06

賀德克傳感器HDA4840-A-250-424

賀德克電磁閥WS10Z-01-C-N-24DG

賀德克傳感器EDS1791-N-250-000

賀德克發汛器VM 2 BM.1 (303194)

賀德克傳感器EDS3398-5-0016-V02-E1

賀德克傳感器ETS384-3-150-000

賀德克傳感器EDS344-3-400-000

賀德克壓力變送器VD5D. 0/-L24 AC/DC 15-30V

賀德克傳感器HDA7446-A-250-000

賀德克傳感器EDS3448-5-0250-000帶接頭

賀德克傳感器ETS-388-5-150-000

賀德克傳感器HDA4445-A-400-000

賀德克傳感器HDA4840-A-250-424(15m)

賀德克傳感器EDS345-1-400-000+ZBE01